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21 系列 標準型質量流量控制器 層流差壓原理 非抗腐蝕 量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM,優(yōu)于 1 % 的精度,控制范圍廣,優(yōu)于 100 ms 響應時間
數字式質量流量控制器適用于多種不同的產業(yè)應用。可實現大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,減少客戶成本。